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ビジネスのペインポイント

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ある半導體メーカーは、フレキシブルな生産に対する市場(chǎng)の要求に応えるため、工場(chǎng)內のマテリアルハンドリングの柔軟性と安定性を向上させる必要があります。 製造ホールにはさまざまな機器がありますが、狹いスペースと複雑なレイアウトのため、自動(dòng)化された機器がオープンな環(huán)境で動(dòng)作し、異常な狀態(tài)に遭遇すると、ウェーハの損傷率が高くなります。

ソリューション

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ROKAEロボットは、顧客企業(yè)が製造プロセスにおける自動(dòng)化されたフローとロード?アンロードの問(wèn)題を効率的に解決するために完全な複合ロボットソリューションを提供し、ウェハショップにおける柔軟で知的な生産の実現に貢獻しました。

お客様のメリット

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ROKAE複合ロボットは、レーザースラムハイブリッド位置決め?ナビゲーション技術(shù)をベースに、高精度なウェーハのローディングとアンローディングを効率よく完了するためのビジョンを備えています。 また、各関節に高精度な力センサーを內蔵したフレキシブル協(xié)働ロボット「xMate」は、高感度な衝突検知を可能にし、衝突による安全リスクを回避する。 また、高性能モーターと最先端のモーションアルゴリズムを搭載しているため、よりスムーズな動(dòng)きとウェーハの損傷率の大幅な低減を実現し、工場(chǎng)の自動(dòng)化と知能化のさらなる推進(jìn)に貢獻します。